Na najmodernejših področjih, kot so nano{1}}odkrivanje, vizualne meritve, pregled napak polprevodnikov in optična interferometrija, referenčna ravnina inšpekcijskih platform neposredno določa verodostojnost podatkov za celoten merilni sistem. Ker natančna proizvodnja napreduje v smeri submikronskih in nanometrskih lestvic, kamnite ploščadi, obdelane s konvencionalnimi tehnikami, ne morejo več zadostiti zahtevam vrhunskih-laboratorijskih testov in-inšpekcije masovne proizvodnje. Številni proizvajalci opreme so odkrili, da se bodo, tudi če so opremljeni z vrhunskimi merilnimi senzorji, stalno pojavljale sistematične napake pri merjenju, če referenčna ravnina nosilne ploščadi odstopa. V skladu s tem je gradnja granitnih inšpekcijskih ploščadi z nanometrsko-ravnjo ravnosti postala ključni predmet raziskav za številna podjetja, ki se ukvarjajo z opremo za natančno inšpekcijo.
Ultra-visoke natančnosti ravnosti ni mogoče doseči z enim postopkom obdelave. Doseže se s koordinacijo obdelave surovin, nadzorom proizvodnega okolja, postopnim mletjem in natančnim pregledom. Tolerančno okno za nanometrsko natančnost je izjemno ozko; kakršna koli malomarnost v procesu bo povzročila nezadovoljive kazalnike ravnosti. Večina tovarn za predelavo kamna na trgu ima samo mikronsko -zmogljivost obdelave in nima popolne-zmožnosti nadzora natančnosti procesa. Skupina UNPARALLELED se z dolgoletnimi izkušnjami, specializiranimi za ultra-natančne granitne komponente po meri, osredotoča na podporo vrhunske-inšpekcijske opreme. Razvili smo zrele celovite proizvodne rešitve za nanometrske-granitne platforme, ki zagotavljajo dolgoročno{11}}stabilne visoko-natančne referenčne rešitve za proizvajalce merilne opreme po vsem svetu.
Surovine so predpogoj za doseganje vrhunske ravnosti. Navadni granit trpi zaradi neenakomerne porazdelitve zrn in drobnih naravnih mikrorazpok, ki zlahka sprožijo lokalno deformacijo med neprekinjeno strojno obdelavo in dolgo-trajno uporabo. Uporabljamo samo-razvit črni granit UNPARALLELED® visoke-gostote z gosto in enakomerno razporejenimi kamnitimi zrni. Surov kamen ne bo vstopil v predelavo neposredno po dohodnem pregledu; namesto tega je podvržen segmentiranemu staranju. Podaljšano statično shranjevanje sprosti izvorno notranjo napetost kamnine, da se prepreči postopna deformacija plošče po končani obdelavi, s čimer se načeloma prepreči degradacija ravnosti skozi čas. Strogo razlikujemo meroslovni-granit od inženirskega-granita in nikoli ne uporabljamo poceni{10}}kamnitih materialov za izdelavo visoko-natančnih kontrolnih ploščadi.
Tehnologija brušenja služi kot osrednji postopek za doseganje ploskosti v nanometru in označuje ločnico med navadnimi kamnoseškimi delavnicami in ultra{0}}natančnimi proizvajalci. Običajno poliranje lahko doseže le mikronsko -natančnost. Za doseganje nanometrskih standardov je potreben postopni več-postopek brušenja. Platforma je zaporedoma podvržena grobemu brušenju, pol-končnemu brušenju, finemu brušenju in končnemu ultra-natančnemu poliranju. Velikost zrnc abrazivov se postopoma zmanjšuje, da se odstranijo subtilne sledi orodja, ki nastanejo pri prejšnjih postopkih. Vsi zaključni postopki se izvajajo v delavnici razreda 10.000 s konstantno-temperaturo, konstantno-vlažnostjo-brez prahu. Delavnica je opremljena z neodvisnimi proti-vibracijskimi temelji in izoliranimi proti-vibracijskimi jarki za maksimalno izolacijo motenj vibracij zaradi zunanjega prometa in proizvodne opreme, kar zagotavlja stabilne pogoje brušenja.
Večja kot je granitna ploščad, težje je nadzorovati ravnost. Za velike integrirane inšpekcijske ploščadi dajemo prednost tehnologiji monolitnega oblikovanja, da se izognemo višinskim razlikam na spojih, ki jih povzroči sestavljanje več plošč. V skladu z risbami strank je strukturna obdelava, vključno z vdelanimi navojnimi pušami, utori za ožičenje, referenčnimi utori za pozicioniranje in vakuumskimi sesalnimi luknjami, dokončana vnaprej. Vsa dela vrtanja in utorov so urejena med grobo obdelavo. Po-končna obdelava bi povzročila spremembe napetosti in poškodovala izjemno-natančno končno ravnino. Celoten potek obdelave je v skladu z mednarodno priznanimi meroslovnimi standardi DIN in ASME. Platforme ultra{10}}visoke natančnosti razreda 00 in razreda 000 je mogoče prilagoditi tako, da izpolnjujejo zahteve strank.
Celovit inšpekcijski pregled po fazah poteka skozi celoten delovni tok proizvodnje platform, namesto le naključnega vzorčenja po zaključku. Po vsakem postopku brušenja tehniki ponovno preverijo ravnost z uvoženimi visoko{1}}natančnimi nivoji in laserskimi interferometri. Vsi merilni instrumenti imajo veljavne kalibracijske certifikate, ki so jih izdale meroslovne ustanove s popolnoma sledljivimi merilnimi podatki. Končno celovito preverjanje se izvede po izdelavi. Obdelovanec nekaj časa ostane pri stalni temperaturi za opazovanje. Dostava je urejena šele po potrditvi, da ni očitnih deformacij, kar zagotavlja, da dobavljena granitna ploščad ohranja ravnost na nanometrski-ravni med dolgotrajnim-delovanjem na mestih strank.
Kot proizvajalec natančnih komponent, ki ima certifikate trojnega sistema upravljanja ISO, kvalifikacije CE in RoHS, imamo v lasti več kot 20 mednarodno registriranih patentov in blagovnih znamk. Vzdržujemo dolgoročno-projektno sodelovanje z vodilnimi podjetji v polprevodniškem in optičnem merilnem sektorju ter čezmorskimi univerzitetnimi laboratoriji. Poleg granitnih pregledovalnih ploščadi lahko dobavimo tudi ujemajoče se natančne granitne navpične plošče Z-osi, podpore v obliki črke L-, podnožja vrtljivih miz, podnožja z zračnimi-ležaji in druge rezervne dele. Zaradi naše geografske bližine pristanišča Qingdao učinkovito organiziramo kontejnerske pošiljke in skrajšamo dostavne cikle za čezmorske stranke.
Meritve na nanometru ne dopuščajo niti najmanjšega odstopanja referenčne točke. UNPARALLELED se dosledno drži strogih standardov ultra{1}}precizne proizvodnje. Podprti z vrhunskimi surovinami, poteki obdelave z zaprto-zanko in strogimi več-stopenjskimi nadzornimi sistemi, še naprej izdelujemo visoko-stabilne granitne referenčne platforme za globalno industrijo natančnih pregledov. Nenehno optimiziramo ultra{7}}precizne tehnike obdelave, da pomagamo vsem vrstam vrhunske-inšpekcijske opreme doseči stabilno in natančno meritev.





