Granitna platforma polprevodnikov

UNPARALLELED LTD je eden vodilnih proizvajalcev in dobaviteljev granitnih polprevodnikov na Kitajskem. Z bogatimi izkušnjami vas toplo vabimo, da tukaj v naši tovarni kupite napredne polprevodnike granitne platforme, izdelane na Kitajskem. Sprejemamo tudi naročila po meri.

Zakaj polprevodniška oprema zahteva več kot standardna strojna osnova

Oprema za izdelavo polprevodnikov deluje pri tolerancah, zaradi katerih je običajna proizvodnja v primerjavi z njimi surova. Sistemi za ravnanje z rezinami, stopnje poravnave litografije in orodja za plazemsko jedkanje zahtevajo natančnost pozicioniranja, merjeno v nanometrih-in ta zmogljivost se začne pri tem, kar podpira celoten stroj.

Granitno podnožje stroja za polprevodniške aplikacije mora dušiti vibracije vakuumskih črpalk in turbo molekularnih črpalk, ohranjati pod-mikronsko ravnost v delovnih termičnih ciklih in se upreti izpuščanju plinov v okoljih čistih prostorov. Večina granitnih ploščadi je zasnovanih za splošno natančno obdelavo. To ni večina granitnih ploščadi.

NEPRIMALNO natančno granitno podnožje stroja za polprevodniško opremo je zasnovano posebej za toplotne, vibracijske in čistoče zahteve proizvodnih okolij. Črni granit UNPARALLELED®-z gostoto približno 3.100 kg/m³ in toplotno stabilnostjo, boljšo od 0,001 mm/stopino -zagotavlja masno in dimenzijsko stabilnost, ki jo zahtevajo polprevodniška orodja. Naša 10.000 m² delavnica s konstantno-temperaturo z anti{10}}vibracijskimi jarki zagotavlja, da se tolerance ravnosti ohranijo med končnim pregledom in ostanejo stabilne med namestitvijo v vašem objektu.

Izjemno dušenje tresljajev. Visoka gostota črnega granita UNPARALLELED® ustvarja naravno maso, ki absorbira vibracije okoliške opreme. V polprevodniških tovarnah, kjer sta pulziranje vakuumske črpalke in vibriranje stopenjskega motorja stalni izziv, gosta granitna podlaga deluje kot pasivni vibracijski filter-aktivni sistemi niso potrebni, stroški vzdrževanja niso potrebni.

Toplotna stabilnost, ki ustreza odličnim pogojem. Nadzor temperature čistih prostorov običajno drži ±0,5 stopinje. Pri toplotni stabilnosti 0,001 mm/stopinjo se 2000 mm-dolga osnova razširi za manj kot 0,002 mm pri polnem zasuku 10 stopinj-v okviru večine proračunov za pozicioniranje polprevodnikov. Granit ohranja to stabilnost skozi desetletja delovanja brez skrbi glede degradacije, ki vpliva na alternative polimernih kompozitov.

Prilagodljivo na vašo opremo. Naši štirje brusilniki-NanTey, izdelani v Tajvanu,-vsak presega 500.000 USD-lahko obdelajo monolitne platforme do 6000 mm v eni nastavitvi. Za okvirje večje polprevodniške opreme izdelujemo več-segmentne podstavke z natančno-ujemajočimi spojnimi površinami. Zmogljivost posameznega kosa doseže 100 ton.

Material,-združljiv s čistimi prostori. Naravni granit ne izpušča plinov. Za razliko od polimernega granita ali alternativnih-jedrnih jeder, trdni črni granit UNPARALLELED® ne vnaša hlapnih organskih spojin v vaše proizvodno okolje. To je lastnost materiala, ne obdelava-razlika, ki je pomembna za-razred čistosti polprevodnika.

Popolna sledljivost od surovine do dostave. Vsaka baza pošlje dokumentacijo o kalibraciji, ki je sledljiva prek Inštituta za meroslovje pokrajine Shandong do Kitajskega nacionalnega inštituta za meroslovje. Ko vaša skupina za kakovost revidira dobavno verigo, je dokumentacijska veriga zaključena.

Sistemi za ravnanje z rezinami: Natančne granitne podlage zagotavljajo togo podlago-za blaženje tresljajev, ki ohranja roke za prenos rezin stabilne med-hitrimi operacijami izbiranja-in-postavljanja. Celo manjši odklon baze med pospeševanjem roke povzroči napake pri namestitvi, ki presegajo specifikacije namestitve orodja. Gostota 3.100 kg/m³ pomeni, da se osnova upira gibanju, namesto da bi ga absorbirala v vašo zanko za nadzor gibanja.

Faze poravnave litografije: Sistemi optične poravnave zahtevajo geometrijsko stabilnost, ki se ne spreminja s temperaturo ali mehansko obremenitvijo. Toplotni koeficient granitne podlage, ki je manjši od 0,001 mm/stopinjo, v kombinaciji z lastno togostjo ohranja stabilne reference poravnave med toplotnimi cikli, ki se pojavijo med zaporedji dolge izpostavljenosti.

Oprema za plazemsko jedkanje in nanašanje: Ta orodja ustvarjajo vibracije in toplotne obremenitve iz sistemov za dovajanje plina in reakcij v plazmi. Granitna podlaga s stopnjo ravnosti 00 zagotavlja stabilno referenčno ravnino, ki se pod temi cikličnimi obremenitvami ne deformira tako, kot se sčasoma zgodijo aluminijasti ali jekleni okvirji.

Orodja za merjenje in pregledovanje v fab meroslovnih ležiščih: ko potrebujete referenčno površino, ki bo desetletja ostala ravna brez ponovnega strganja, je granit ta rešitev. Naši brusilni mojstri-z 30+ leti praktičnih-izkušenj-ročno dokončajo vsako osnovo do tolerance pred pošiljanjem. Človeško oko in konica prsta, ki ju vodi desetletja mišičnega spomina, ujameta, kar avtomatizirani sistemi zgrešijo.

Kakšno stopnjo ravnosti potrebujem za uporabo v polprevodniški opremi?

Stopnja 00 (manj kot ali enaka 0,5 μm/m) je določena za najzahtevnejše polprevodniške aplikacije, vključno s stopnjami poravnave litografije in natančnim meroslovjem. Stopnja 0 (manj kot ali enaka 1 μm/m) je primerna za večino sistemov za ravnanje z rezinami in splošno tovarniško opremo. Stopnja 1 (manj kot ali enaka 2 μm/m) je primerna za podlage težke opreme, kjer granit zagotavlja dušenje mase in vibracij, namesto da bi služil kot natančna referenčna površina. Če niste prepričani, katera stopnja ustreza vašemu tolerančnemu proračunu opreme, vam lahko naša tehnična ekipa svetuje na podlagi vaših posebnih zahtev glede orodja.

Ali lahko izdelate konfiguracije po meri za naše risbe opreme?

ja Sprejemamo risbe strank v vseh glavnih formatih CAD in izdelujemo v skladu z vašimi določenimi tolerancami, vzorci montažnih lukenj in zahtevami glede dimenzij. Konfiguracije po meri so za nas običajna praksa-in ne izjema. Posredujte svoje natise med fazo povpraševanja in potrdili bomo možnost izdelave ter zagotovili podrobno ponudbo, vključno s časom dobave.

Kako UNPARALLELED zagotavlja ravnost med pošiljanjem?

Pošiljanje je znano tveganje za velike natančne granitne komponente. To obravnavamo z optimiziranim zabojem z interpolacijo pene med plastmi, vodoravno usmerjenostjo v ojačanih zabojnikih in možnostmi-zabojnikov z nadzorovano vlažnostjo za pomorski tovor. Proizvajalcem polprevodniške opreme po Aziji, Evropi in Severni Ameriki smo dostavili baze, daljše od 10 metrov, s ploskostjo v okviru specifikacije ob prihodu.

Ali je vaš granit primeren za uporabo v vakuumskih komorah v polprevodniški opremi?

Črni granit UNPARALLELED® je trden naravni kamen brez notranjih praznin. Združljiv je s standardnimi vakuumskimi okolji, ki se uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Če vaša aplikacija vključuje ekstremne ravni vakuuma ali posebne zahteve glede združljivosti materialov, delite podrobne specifikacije in naša tehnična ekipa bo potrdila ustreznost.

Kakšno dokumentacijo priložite vsaki pošiljki?

Vsaka pošiljka vključuje: poročilo o inšpekcijskem pregledu dimenzij, poročilo o preverjanju ravnosti z izmerjenimi vrednostmi (ne samo trditve o razredu), podatke o hrapavosti površine, potrdilo o materialu z gostoto in kemično sestavo, potrdilo o sledljivosti kalibracije, ki se povezuje z deželnimi in nacionalnimi meroslovnimi inštituti, ter kopije certifikatov ISO9001, ISO45001, ISO14001 in CE. Za posebne zahteve strank so na voljo dodatni formati dokumentacije.

Kakšen je tipičen dobavni rok za bazo polprevodniške opreme po meri?

Standardni podstavki razreda 0 v običajnih velikostih (do 3000 mm) so odposlani v štirih do šestih tednih po potrditvi naročila. Konfiguracije po meri, večje velikosti ali zahteve stopnje 00 običajno zahtevajo šest do deset tednov. Natančni dobavni roki so odvisni od trenutnega proizvodnega načrta in vaših posebnih dimenzij. Stopite v stik z nami zgodaj za časovno-občutljive projekte-za stranke z omejenimi roki dostave vzdržujemo prilagodljiv razpored.

Priljubljena oznake: polprevodnik granitne platforme, Kitajska proizvajalci polprevodnikov granitne platforme, dobavitelji, tovarna