Komponente granitnega zračnega-ležaja: glavne prednosti uporabe za ultra{1}}visoke-stopnje gibanja

Vse-posebne granitne-komponente UNPARALLELED-a, ki prenašajo zrak, uporabljajo lastno-črni granit visoke{3}}gostote UNPARALLELED® z gostoto surovine 3100 kg/m³. Z gosto in enakomerno kristalno strukturo zagotavlja veliko boljše celovite fizikalne lastnosti v primerjavi z običajnimi osnovami iz marmorja, litega železa in aluminijevih zlitin ter se popolnoma prilagaja visokim-delovnim pogojem 2m/s in visokim pospeškom 3G.
Izjemno-nizka toplotna ekspanzija odpravlja referenčni zamik, ki ga povzroča visoko{1}}hitrostno ustvarjanje toplote
Koeficient toplotne razteznosti granita je le ena-tretjina koeficienta jekla. Lokalni dvig temperature, ki nastane zaradi hitrega-izmeničnega gibanja stopenj in neprekinjenega oddajanja toplote iz linearnih motorjev, ne bo deformiral-vodilnih površin za zrak in nosilnih-osnovnih površin. Med -hitrim skeniranjem in 24-urnim neprekinjenim delovanjem proizvodne linije ravnost in vzporednost ostaneta brez toplotnega odnašanja, kar zagotavlja stabilen rezultat ponavljajoče se natančnosti pozicioniranja na nanometrski ravni.
Naravno visoko dušenje zavira resonanco in tresljaje pri-visokih hitrostih
Gosta kristalna struktura je opremljena z odlično zmogljivostjo dušenja tresljajev, ki lahko absorbira več kot 90 % visoko-frekvenčne energije tresljajev. Samo-vibracije, ki nastanejo zaradi pogostega zagona-ustavljanja in visoke-hitrostnega povratnega premikanja stopenj z-zračnim{6}}ležajem, kot tudi motnje zunanjih tresljajev iz delavniških vakuumskih črpalk, manipulatorjev in okoliške laserske opreme, je mogoče hitro ublažiti z granitnimi podstavki, s čimer se izognete odmiku optične poti in skokovitim inšpekcijskim podatkom med{-hitrostnim gibanjem.
Ne-magnetno, čisto in{1}}odporno na korozijo, primerno za polprevodniške čiste sobe
Ta naravni nekovinski material je popolnoma ne-magneten in ne bo absorbiral kovinskega prahu in ostankov rezanja. Odporen je na korozijo s kislinami, alkalijami, fotorezistnimi topili in elektroliti. Površina je obdelana s posebnim poliranjem brez prahu, brez obarjanja kovinskih ionov in sledov hlapnih snovi, v skladu s standardi čistosti polprevodnikov SEMI. Odpravlja tveganje kontaminacije rezin in optičnih leč ter ustreza proizvodnim scenarijem visoke-čistosti, kot sta pregled čipov in vakuumsko nanašanje.
Izjemno-visoka trdota zagotavlja dolgotrajno-odpornost proti obrabi, brez poslabšanja natančnosti po dolgotrajnem-hitro-delovanju
S trdoto po Mohsu 6–7 je odporen na obrabo in udarce. Izhodiščne površine zračnih-ležajnih vodil se ne obrabijo po dolgotrajnem-hitro-plavajočem drsenju, kar odpravlja potrebo po pogostem ponovnem-brušenju in umerjanju, z življenjsko dobo, ki presega 30 let. Drastično zmanjša poznejše stroške vzdrževanja in zamenjave merilnih orodij za-proizvajalce vrhunske opreme. Vse granitne surovine so dostavljene v naše ekskluzivno skladišče velikosti 20.000 ㎡ za podaljšano naravno staranje, da se v celoti sprostijo notranje preostale napetosti kamna, s čimer se izognemo počasni deformaciji komponent in neuravnoteženim zračnim-ležajnim vrzelom pod dolgotrajnimi-hitro-hitrostnimi obremenitvami.
II. Integrirani zračni-konstrukcijski procesi, prilagojeni zahtevam za ultra-visoke-hitrosti dinamičnega gibanja
Običajne razcepljene kovinske zračno{0}}ležajne podlage trpijo zaradi šibke togosti, puščanja zraka pri spojnih režah in lahke deformacije pod-hitrostnimi dinamičnimi obremenitvami. Prilagojene integrirane granitne-ležajne komponente podjetja UNPARALLELED za ultra-visoke-hitrostne stopnje vključujejo vgrajene odprtine, zaprta vodila za zračne-ležaje, pritrdilne reže v obliki črke T-in težke-točke za pozicioniranje. Številni optimizirani strukturni procesi poskrbijo-za visoke hitrosti dela.
Celostno monolitno oblikovanje, visoka togost za odpornost na visoke-hitrostne udarce
Z izkoriščanjem izjemno-zmogljivosti tovarne za obdelavo sestavnih delov izdelujemo integrirane granitne zračne-ležajne podlage s težo posameznega- kosa do 100 ton in skupno dolžino 20 metrov. Brez segmentiranega spajanja je splošna togost močno izboljšana. Ko je podvržen visokemu pospešku 3G brez-obremenitve in udarnim obremenitvam zaradi zasilne{9}}ustavitve pri visoki hitrosti, se osnova ne bo upognila in deformirala. Zračna-ležajna reža dosledno vzdržuje stabilen zračni film 5~10 μm, s čimer se odpravijo zatikanja in zamiki poti med-hitrim gibanjem.
Postopek natančnega brušenja za-vgrajene odprtine dušilke
Odprtine dušilke-z zračnim ležajem so natančno obdelane neposredno v granitno vodilno telo. Položaj odprtine, odprtina in globina plina se nadzirajo z nanometrskim-brušenjem, da se zagotovi enoten in stabilen izhod zraka. V primerjavi s strukturami z zunanjimi dušilci zračni tok ne uhaja med gibanjem z visoko-hitrostjo, lebdeča sila je enakomerno porazdeljena, gibanje poteka gladko brez zdrsa, nihanje hitrosti je boljše od 0,01 %, doseganje ločljivosti gibanja 1 nm in ponavljajoča se natančnost pozicioniranja 50 nm.
Težka-obremenitev zraka-Postavitev nosilne podpore za enakomerno porazdelitev dinamičnih-hitrostnih obremenitev
Simulacija napetosti s končnimi elementi se izvaja v skladu s pomikom stopnje, največjo delovno hitrostjo in pospeškom, da se optimizira postavitev podpornih točk spodnjega zraka-. Dinamične obremenitve, ki nastanejo zaradi visoke-hitrosti povratnega gibanja, so enakomerno porazdeljene po celotni granitni podlagi, kar preprečuje lokalno koncentracijo napetosti, ki bi povzročila zrušene vodilne površine in odpoved zračnega-ležaja. Prilagodljive T-reže in navojne montažne luknje so rezervirane za potrebe sestavljanja linearnih motorjev, linearnih dajalnikov, vakuumskih adsorpcijskih modulov in šest{6}}osnih mehanizmov za-fino nastavitev.
III. Popolna-natančna izdelava verige in inšpekcija za zagotavljanje natančnosti dobave stopenj visoke-hitrosti
UNPARALLELED se drži osnovne filozofije: "Natančne proizvodnje ni mogoče doseči brez natančnih meritev". Podprti s popolnim ultra{1}}preciznim obdelovalnim sistemom, konstantno-temperaturnim-proizvodnim okoljem-brez prahu in svetovnim-sistemom meroslovnih pregledov, zagotavljamo, da vsak komplet granitnih zračnih-ležaj komponent izpolnjuje globalne standarde sprejemljivosti opreme za visoko-natančnost.
Skupina upravlja dva standardizirana proizvodna obrata, ki pokrivata skupno površino 200.000 ㎡ in sta opremljena z delavnico za natančno obdelavo polprevodnikov 10.000 ㎡-s konstantno-temperaturo, konstantno-vlažnostjo-brez prahu. Tla delavnice so v celoti zalita z vojaško-ultra{10}}trdim betonom debeline najmanj 1000 mm. Jarki za izolacijo vibracij (500 mm širok in 2000 mm globok) obdajajo delavnico, združeni s tihimi mostnimi žerjavnimi sistemi za popolno izolacijo motenj vibracij in nihanj temperature/vlažnosti med strojno obdelavo, kar zagotavlja dosledno in stabilno natančnost brušenja za zračno-ležajne vodilne površine.
Podjetje je opremljeno s štirimi izredno-velikimi CNC brusilniki iz tajvanskega Nantonga, od katerih je vsak ocenjen na več kot 500.000 USD, za dokončanje grobega oblikovanja-komponent, ki nosijo zrak. Izkušeni brusilci z več kot 30-letnimi izkušnjami v industriji ročno dokončajo zračna-ležajna vodila in obremenitve-nosilne referenčne površine, pri čemer se zanašajo na mikronsko-nežno otipljivo zaznavo, da dosežejo nanometrsko natančnost obdelave. Stranke polprevodnikov in optične opreme po vsem svetu te mojstre imenujejo "hodeče elektronske ravni".
Polno{0}}dimenzionalno natančno preverjanje pred dostavo uporablja-vodilne svetovne mednarodne meroslovne instrumente, vključno z nemškimi 0,5 μm številčnicami Mahr, testerji hrapavosti Mitutoyo, švicarskimi elektronskimi nivoji WYLER in britanskimi laserskimi interferometri Renishaw. Popolni pregledi zajemajo ravnost, pravokotnost, vzporednost, natančnost pozicioniranja odprtin dušilne lopute in enakomernost zračnih-ležajnih rež. Vsi merilni instrumenti imajo uradne certifikate o kalibraciji, ki sta jih izdala Inštitut za meroslovje Jinan in Inštitut za meroslovje Shandong, pri čemer so vse izmerjene vrednosti popolnoma sledljive do Kitajskega nacionalnega inštituta za meroslovje. Obdelovalni referenčni podatki izdelkov so združljivi z globalnimi glavnimi meroslovnimi specifikacijami, vključno z DIN, ASME, JIS, GB, BS, GOST in EIE. Čezmorski proizvajalci opreme ne potrebujejo sekundarne kalibracije, saj se prilagajajo popolnim scenarijem raziskav in razvoja, množične proizvodnje in inšpekcijskih pregledov opreme za visoko-hitro gibanje po vsem svetu.
Dvojna prednost trenja-ležaj brez zraka + visoka{2}}stabilen granit: brez oprijemanja-zdrsa ali zamika pri-hitrostnem gibanju
Stisnjen zrak tvori mikronski-zračni film za ustvarjanje brez{1}}kontaktne lebdeče podpore s koeficientom trenja le 0,0005, kar popolnoma odpravi-učinek zdrsa mehanskih vodil. Trajektorije vzajemnega gibanja pri visoki hitrosti in velikem pospešku imajo visoko ponovljivost, z dinamično napako pozicioniranja, nadzorovano v pod-mikronskem obsegu, primerno za visoko-hitro skeniranje rezin, neposredno lasersko pisanje in visoko-natančne interferometrične merilne scenarije.
Visoka izolacija vibracij + ultra-nizka toplotna deformacija: Ničelen zamik inšpekcijskih podatkov pri neprekinjenem delovanju z visoko-hitrostjo
Granitne podlage zagotavljajo dvojno zmogljivost dušenja vibracij in temperaturne stabilnosti. Etape lahko tečejo neprekinjeno z veliko hitrostjo 24 ur. Pri dolgotrajnem neprekinjenem skeniranju in delovnih pogojih pregledov serij ostanejo referenčne točke-brez zamikov, brez popačenj-slik in podatkov pregleda-brez preskokov, kar drastično izboljša stopnjo izkoriščenosti neprekinjene proizvodne linije in izkoristek izdelka.
Čisto, ne{0}}magnetno in{1}}odporno na korozijo, prilagojeno težkim okoljem polprevodniških čistih prostorov
Za razliko od kovinskih podstavkov, ki so nagnjeni k magnetizaciji in izločanju kovinskih ionov, granitne komponente,-ki nosijo zrak, izpolnjujejo standarde za nadzor čistosti polprevodnikov. Ustrezajo zapletenim pogojem v delavnici z okoljem brez-prašu in hlapljivih kemičnih topil, kot so fotolitografija, pakiranje rezin, natančna kontrola baterij in perovskitna vakuumska prevleka, brez tveganja kontaminacije rezin in optičnih komponent.
Dolga življenjska doba in nizko vzdrževanje, kar zmanjšuje stroške-življenjskega cikla visoko-opreme
Nosilna-zračna-struktura brez trenja v kombinaciji z obrabno-odpornimi granitnimi referenčnimi površinami prinaša skoraj ničelne izgube zaradi odrgnjenja, kar odpravlja pogosto razstavljanje, ponovno-brušenje in kalibracijo. Podlaga je-odporna proti rji in brez deformacij zaradi lezenja, kar ohranja stabilno natančnost po dolgotrajni-trajni uporabi. Močno skrajša čas izpadov opreme zaradi vzdrževanja in zamenjave nadomestnih delov, kar zmanjša obsežne operativne stroške za proizvajalce opreme in tovarne končnih-uporabnikov.
V. Scenariji široke uporabe v vrhunski-opremi in prepoznavnost na svetovnem trgu
Z izkoriščanjem več glavnih prednosti, vključno z vrhunskimi lastnostmi materiala, vgrajeno zračno{0}}ležajno strukturo, nanometrsko natančnostjo obdelave,-izolacijo vibracij brez prahu in globalno meroslovno združljivostjo, so komponente zračnega-ležaja NEPORABLJIVE postale standardni primerjalni deli za ultra-visoke-hitrostne stopnje gibanja po vsem svetu, ki se široko uporabljajo v vseh kategorijah visoka{5}}natančna oprema:
Oprema za inšpekcijo polprevodnikov: visokohitrostne-stopnje skeniranja napak na rezinah, optične inšpekcijske platforme AOI, visokohitrostne-platforme XY linearnega motorja za odkrivanje napak na embalaži X-Ray;
Optična in laserska oprema za obdelavo: laserski pisalni stroji, optični interferometri, visoko-stopnje pozicioniranja za visoko-natančno pregledovanje leč;
Nova energetska natančna inšpekcijska oprema: visoko{0}}hitrostne inšpekcijske ploščadi za separator litijevih baterij, vakuumski visokohitrostni-moduli gibanja za perovskitno tankoslojno prevleko;
Meroslovni laboratoriji in natančne meritve v vesolju: nanometrske kalibracijske platforme za določanje položaja za nacionalne meroslovne inštitute, visoko{0}}natančna merilna oprema za majhne komponente v vesolju.
Trenutno se NEPORAZLJIVE granitne-ležajne komponente izvažajo na trge precizne opreme po vsem svetu, kar močno podpira podjetja s seznama Fortune 500 in vodilne svetovne proizvajalce natančnih krmilnikov gibanja, vključno z GE, Apple, Samsung, Bosch, THK, HIWIN, MISUMI in Akribis. Vzdržujemo dolgoročno-tehnično sodelovanje na-hitrostni merilni tehnologiji z vrhunskimi raziskovalnimi inštituti in vladnimi meroslovnimi organi: Nacionalna univerza v Singapurju, Tehnološka univerza Nanyang, Univerza v Stockholmu, meroslovni inštituti po Evropi, Ameriki in Rusiji ter univerza Zhejiang, Univerza Xi'an Jiaotong, Kitajska akademija znanosti in Inštitut za optiko, fino mehaniko in fiziko Changchun doma. Dinamična stabilnost-hitrosti, prilagodljivost-brez prahu in globalna meroslovna združljivost naših komponent z-zračnim ležajem iz granita so pridobile avtoritativno priznanje svetovne industrije natančne opreme.
Zaključek industrije
Globalna industrija polprevodnikov, optičnih mikroizdelkov in novih energetskih natančnih inšpekcijskih pregledov se nenehno usmerja k višjim delovnim hitrostim, večjim pospeškom in nanometrski-natančnosti dinamičnega pozicioniranja. Zmogljivost primerjalnih nosilcev za ultra-visoke-stopnje gibanja neposredno določa dinamično natančnost opreme, izkoristek proizvodne linije in dolgoročno-zanesljivost. Skupina UNPARALLELED Group bo dosledno podpirala temeljne korporativne vrednote "Odprtost, inovativnost, integriteta, enotnost" in izvajala podjetniški duh "Upaj si prevzeti vodstvo; Drzni si inovirati". Nenehno bomo ponavljali modifikacijske postopke za granit z visoko-gostoto, integrirano strukturno zasnovo vgrajenih dušilk-na zračnem ležaju,-površinsko obdelavo-brez prahu, namenjeno polprevodnikom, nanometrsko-brušenje tri-tridimenzionalnih-komponent z zračnim{12}}ležajem in celovite-sheme pregledov procesa, in še naprej nadgrajujte granitne-izdelke z zračnimi ležaji, prilagojene novi{15}}generaciji visoko{16}}pregledovanja rezin, laserski obdelavi in novi energijski opremi za premazovanje. V prihodnosti bo skupina še poglobila svojo postavitev v podporni progi za ultra-natančna merila uspešnosti gibanja. Nudimo popolne rešitve za zagotavljanje natančnosti za visoko-hitrostne gibalne stopnje globalnim visoko-proizvajalcem natančne opreme prek standardiziranih, ultra-čistih, visoko-blažilnih, dinamično stabilnih pri visokih hitrostih in globalno univerzalnih granitnih-ležajev merilnih komponent, ki pomagajo globalni industriji natančne proizvodnje prebiti ozka grla visoko{25}}hitrostne dinamične natančnosti in vztrajno napredujemo proti naši dolgoročni-razvojni viziji »postati svetovno{27}}podjetje, ki mu javnost zaupa in ga ima rada«.