V polprevodniških nanometrskih scenarijih natančnega pregleda in umerjanja mikro{0}}dimenzij ni težko doseči natančnosti v eni meritvi. Pravi izziv je ohranjanje zelo doslednih podatkov brez naključnih odstopanj med več deset tisoč zaporednimi pregledi. Zdi se, da številne referenčne komponente izpolnjujejo zahteve glede ravnosti, vendar kažejo velika nihanja podatkov in slabo ponovljivost med ponavljajočimi se meritvami. Glavni vzroki so nezadostna mikro površinska obdelava, očitna površinska anizotropija in šibka kontaktna stabilnost. Z uporabo ekskluzivnih ultra-natančnih postopkov lepanja lepljene granitne površinske plošče zagotavljajo homogene delovne površine na nanometrski ravni. Z mikroskopskega vidika odpravljajo vire motenj pri meritvah in dosegajo izjemno ponovljivost pri dolgotrajnem-inšpekcijskem nadzoru, več-točkovni poravnavi in ponavljajočem se umerjanju ter služijo kot osnovni referenčni dodatki za opremo za meroslovje in pregledovanje polprevodnikov.
Za razliko od enostavnih postopkov brušenja za navadne strojno obdelane plošče, so lepljene granitne površinske plošče oblikovane z dvojnim postopkom natančnega mehanskega brušenja in ročne končne obdelave v nanometru. To popolnoma odstrani usmerjene sledi orodja, razlike v teksturi in neenakomerne hrapavosti, ki jih povzroča mehanska obdelava. Konvencionalno brušenje pusti pravilne vzorce na površini substrata, kar ustvarja nevidne mikroskopske višinske razlike. Ko sonde ali inšpekcijske stopnje drsijo v različnih smereh, pride do neenakomerne napetosti in nihanja kontaktnih vrzeli, kar neposredno sproži naključni odmik merilnih podatkov. Fino lepljenje omogoča homogeno poliranje celotne-površine brez mrtvih con. Vogali, reže in referenčni robovi, ki so pogoste slepe točke pri konvencionalni obdelavi, imajo dosledno teksturo in enotno hrapavost. Na delovni površini ni preostale obdelovalne napetosti ali usmerjene teksture, zmogljivost površine pa ostaja enaka v vseh smereh, kar je trdna mikroskopska osnova za stabilne in ponovljive meritve.
Vrhunska površinska obdelava je ključnega pomena za zmanjšanje naključnih merilnih napak. Pri natančnem pregledu polprevodnikov so stik sonde, prileganje obdelovanca in optična poravnava izjemno občutljivi na mikro ravnost referenčne ravnine. Navadne referenčne plošče imajo neenakomerno mikroskopsko valovitost površine. Ob namestitvi se obdelovanci nekoliko nagnejo, kontaktne točke sonde pa se vsakič rahlo razlikujejo, kar neizogibno vodi do razpršenih podatkov po večkratnih meritvah. Po več-stopenjskem finem lepljenju in tesnjenju por lepljeni granit UNPARALLELED® doseže nanometrsko -hrapavost površine z gosto, gladko teksturo, brez odprtih por, robov ali dvignjenih delcev. Izjemno-gladka delovna površina zagotavlja vedno enake pogoje za prileganje obdelovancev, orodja in sond. Odpravlja kontaktna odstopanja, ki jih povzročajo mikroskopske površinske napake, in močno zmanjša nihanje napak pri posameznih meritvah s fizičnega vidika.
Homogene in stabilne lastnosti površine rešujejo izzive ponovljivosti pri več-serijskih in-postajnih pregledih. Med množičnim pregledom rezin, preverjanjem natančnosti komponent in rutinskim umerjanjem opreme morajo rezultati meritev ostati dosledni v različnih časovnih intervalih, merilnih položajih in operaterjih. Navadne kamnite ali kovinske referenčne plošče imajo neurejene površinske teksture in neenakomerno lokalno obrabo. Po obdobju uporabe pride do lokalne degradacije površinske obdelave, kar povzroči čezmerno odstopanje pri ponovljenih meritvah na istem obdelovancu. V nasprotju s tem imajo prekrite granitne površinske plošče enotno celotno kristalno strukturo. Po lepljenju je zagotovljena visoka konsistenca površinske obdelave po celotni plošči. Površina je odporna na obrabo in praske, pri dolgotrajnem-delovanju z visoko-frekvenčnostjo pa ne bo prišlo do lokalne morfološke degradacije. Ne glede na to, ali gre za ponavljajoče-točkovne meritve,-področno več-inšpekcijo ali navzkrižno{14}}premikanje in navzkrižno{15}}ciklično umerjanje, referenčno stanje ostane stabilno za realizacijo zelo ponovljivih podatkov meritev.
Visoko-kakovostne končne površine se prilagodijo čistim inšpekcijskim okoljem in nadalje ohranjajo dolgoročno-ponovljivost meritev. Polprevodniške čiste sobe izvajajo strog nadzor delcev. Hrapave referenčne površine ponavadi ujamejo prah in drobne ostanke. Manjša onesnaženja, vnesena med ravnanjem z obdelovancem, motijo vsako meritev in povzročajo nihanja podatkov. Laptirana granitna delovna površina je gladka in gosta brez odprtih por. Skoraj ne nabira prahu in ne vpija vlage ali čistilnih sredstev. Stanje površine lahko vzdržujete konstantno z rednim brisanjem. Mikroskopska morfologija referenčne ravnine ne bo spremenjena zaradi kopičenja nečistoč ali manjše obrabe površine, s čimer se izognemo poslabšanju ponovljivosti, ki ga povzročijo okoljski dejavniki in izguba delovanja, tako da oprema dolgo časa ohranja dosledno merilno natančnost.
Združevanje inherentne stabilnosti materiala s prednostmi tehnologije lepljenja ustvarja dvojni stabilizacijski sistem, ki vključuje makro ravno referenco + mikro homogeno površino. Manjša nihanja temperature in vlažnosti v delavnicah, rahle vibracije opreme in visoko{2}}frekvenčni izmenični pregledovalni gibi ne bodo vplivali na morfologijo in kontaktno stanje referenčne površine. V primerjavi s kovinskimi referenčnimi ploščami, ki so nagnjene k deformacijam, obrabi in poslabšanju teksture, lahko prekrite granitne površinske plošče dolgo časa vzdržujejo dosledne referenčne pogoje in odpravijo sistematične in naključne merilne napake. Popolnoma so primerni za aplikacije z visoko-natančnostjo ponovljivosti, vključno z meritvami CMM, optično vizualnim pregledom, skeniranjem profila sonde in laserskim mikro-pregledom.
Glavna prednost lepljenih granitnih površinskih plošč ni le v vizualno ravnem videzu, ampak tudi v vrhunski stabilnosti meritev in ponovljivosti, ki ju prinašajo obdelane delovne površine nanometrskega-razreda. Prefinjen postopek brez-prekrivanja-mrtve cone odstrani mikroskopska odstopanja teksture, kontaktne napake in motnje zaradi obratovalne obrabe, kar zagotavlja enake referenčne pogoje za vsako meritev. Učinkovito obravnava industrijsko bolečo točko nihanja podatkov in slabe ponovljivosti pri natančnem pregledu. Ker natančna proizvodnja polprevodnikov nenehno napreduje v smeri strožjih toleranc, lepljeni granitni referenčni bloki z visoko površinsko obdelavo in odlično ponovljivostjo delujejo kot temelj za zagotavljanje natančnih in poenotenih podatkov množičnega pregleda in izboljšanje zanesljivosti pregleda proizvodne linije.