Delovna mesta za pregled polprevodnikov so izjemno občutljiva na magnetne motnje in srednjo korozijo. Majhne magnetne motnje ali ostanki rje lahko sprožijo odstopanja pri pozicioniranju rezin in kontaminacijo optičnih leč, kar neposredno zmanjša izkoristek pregleda čipov. Tradicionalne kovinske podlage imajo lastne pomanjkljivosti za takšne aplikacije. Nasprotno pa granitne strukturne komponente izkoriščajo intrinzične fizikalne in kemijske lastnosti, da niso-magnetne in-nerjaveče, da izpolnjujejo stroge delovne zahteve polprevodniških čistih prostorov, zaradi česar so prednostni merilni nosilec za inšpekcijo rezin, vizualni pregled in opremo za natančno meroslovje.
Postaje za pregledovanje polprevodnikov so široko opremljene z linearnimi motorji, senzorji za rešetke in elektromagnetnimi pogonskimi moduli. Kovinske podlage, kot sta jeklo in lito železo, so magnetno prevodne. Medtem ko motorji delujejo, se rado pojavijo magnetna histereza in blodeča magnetna polja. Šibka magnetna polja lahko zmotijo odčitke rešetk in celo motijo mikrovezja in mikro-komponente na rezinah, kar povzroči zamik pozicioniranja. Granit je naravni mineralni agregat brez kovinskih prevodnih ali magnetnih faz, popolnoma ne-magneten. Ne bo povzročil dodatnih magnetnih polj, ko motorji delujejo neprekinjeno, kar v bistvu odpravlja merilne napake, ki jih povzročajo magnetne motnje, in zagotavlja dosledno pozicioniranje na ravni mikronov.
Hladilne emulzije, čistilna topila in vlažen zrak so običajno v čistih sobah. Kovinske komponente bodo po dolgotrajni izpostavljenosti tem medijem izpostavljene elektrokemični koroziji in proizvajajo prah rje. Ko so v zraku, se delci rje takoj oprimejo površin rezin, optičnih leč in senzorjev za zaznavanje, onesnažijo rezine in ustvarijo velike količine pokvarjenih izdelkov. Granit nima kemičnih pogojev za oksidacijo in rjavenje. Tudi če je dolgo-izpostavljen brizganju hladilne tekočine ali stalni visoki vlažnosti v čistih prostorih, ne ustvarja madežev rje ali kovinskega prahu. Izpolnjuje zahteve-nadzora delcev v čistih delavnicah in zmanjšuje tveganja kakovosti, ki jih povzroča kontaminacija.
Poleg ne{0}}magnetnih lastnosti in lastnosti, ki-ne rjavijo, oprema za pregledovanje polprevodnikov nalaga stroge zahteve glede toplotne stabilnosti in dušenja vibracij podlag. Pregled čipov pogosto zahteva dolgo neprekinjeno merjenje, medtem ko se v delavnicah pojavljajo rahla temperaturna nihanja. Granitov ultra-koeficient toplotnega raztezanja zavira primerjalno deformacijo, ki jo povzroči nihanje temperature. Medtem pa njegovo odlično inherentno dušenje absorbira vibracije, ki nastanejo med-hitrostnim linearnim gibanjem motorja, preprečuje prenos vibracij na sonde za zaznavanje in stabilizira optično slikanje in merjenje dimenzij.
Polprevodniška oprema je na voljo v različnih konfiguracijah. Granitne komponente je mogoče-izdelati po meri v skladu z risbami opreme. Na voljo so vdelane T-reže, zračni-ležajni vmesniki in referenčne ravnine za montažo senzorjev, ki izpolnjujejo strukturne zahteve portalnih pregledovalnih ploščadi, stopenj gibanja XY in nosilcev rezin. Po strojni obdelavi gredo granitni deli skozi dolgo-trajno-blažilno staranje, mikro-zapiranje por in natančen meroslovni pregled. Geometrijske tolerance so preverjene v prostorih za meroslovje, izoliranih od-stalne-temperature,-vibracij, da se zagotovi točnost primerjalnih vrednosti ob dobavi in odpornost na deformacije med-dolgotrajno uporabo.
Veliko proizvajalcev polprevodniške opreme skrbi obremenitev vzdrževalnih del v čistih prostorih. Kovinske podlage zahtevajo redno odstranjevanje rje in obnavljanje premaza, takšno vzdrževanje pa zlahka ustvarja prah, ki ogroža klasifikacijo čistih prostorov. Granitne komponente ne potrebujejo občasne proti-korozijske obdelave. Dnevna nega vključuje samo brisanje površin in odstranjevanje manjšega nabranega prahu s krpo brez prahu in namenskimi čistilnimi sredstvi. Enostaven vzdrževalni potek dela ohranja pogoje čistih prostorov in zmanjšuje stroške izpadov.
Magnetna interferenca, kontaminacija z delci in deformacija referenčne vrednosti so ključna tveganja za nadzor v aplikacijah natančnega polprevodniškega meroslovja, vključno z vizualnim pregledom rezin AOI, interferometrijo in nadzorom po-vezi. NEPRIMERLJIVE granitne strukturne komponente združujejo ne-magnetne,-brez rje, nizke-deformacije in-blaženje vibracij, da ustrezajo posebnim delovnim pogojem čistih prostorov s polprevodniki. Zagotavljajo stabilno, čisto in ne-magnetno primerjalno podporo za raznoliko opremo za pregledovanje polprevodnikov ter pomagajo doseči stabilne in učinkovite poteke dela za pregledovanje čipov.