Optična in polprevodniška oprema za natančno pregledovanje je v veliki meri odvisna od stabilnih optičnih poti, šibkega zajema električnega signala in visoko{0}}natančnih povratnih informacij o položaju rešetke. V opremi je nameščenih veliko število optičnih leč, slikovnih senzorjev CCD/CMOS, komponent laserske interferometrije in magnetno občutljivih senzorjev. Če so strukturne komponente magnetne, se bodo pojavila blodeča magnetna polja, ki bodo motila zajem signala, povzročila popačenje slike in zamik meritev ter celo vplivala na razlago rezultatov pregleda mikro-strukture rezin. Navadni kovinski žarki so na splošno magnetni. Čeprav so nekatere zlitine razmagnetene, ponavadi ponovno ustvarijo preostali magnetizem pod dolgotrajnim-izmeničnim vplivom gibanja in vibracij. UNPARALLELED Group razvija ne-magnetne natančne granitne žarke. Z izkoriščanjem naravne ne{10}}magnetne lastnosti kamna skupaj z ekskluzivno ultra{11}}natančno tehnologijo strojne obdelave ti žarki izpolnjujejo dvojne zahteve glede ne-magnetizma in stabilnega gibanja referenčnega za optično in polprevodniško opremo za pregledovanje.
1. Naravni ne{1}}magnetni substrat: Odstranite motnje blodečega magnetnega polja iz vira
Večina granita vsebuje malo feromagnetnih mineralov in se po posebnem pregledu za ne-magnetne surovce granita ne bo magnetiziral ali ohranil preostalega magnetizma. Za razliko od kovinskih komponent njegovo magnetno polje ne bo odneslo zaradi vibracij ali temperaturnih sprememb. V scenarijih, kot sta pregled polprevodniških rezin in optična interferometrija, so magnetno občutljive komponente vgrajene v opremo. Celo šibka blodeča magnetna polja lahko povzročijo odstopanje laserske poti in skoke odčitavanja rešetke, kar zmanjša ponovljivost mikronskih in pod-mikronskih meritev. UNPARALLELED doda magnetni pregled vzorčenja, ko neobdelani kamen prispe v tovarno, da odstrani prazne madeže, pomešane s feromagnetnimi minerali, in zagotovi, da celoten žarek ostane ne-magneten. Končni izdelki ne potrebujejo dodatne razmagnetne obdelave in nimajo tveganja, da bi ob udarcu ponovno postali magnetni, kar zagotavlja čisto magnetno okolje za optične poti in sisteme zaznavanja.
2. Več-fizikalna sinergistična zmogljivost: stabilna referenca gibanja zunaj ne-magnetizma
Ne-magnetizem je le osnovna zahteva. Optična in polprevodniška oprema za pregled prav tako nalaga stroge zahteve glede toplotne stabilnosti, dinamične togosti in dušenja vibracij žarkov. Z nizkim koeficientom toplotnega raztezanja so ne-magnetni natančni granitni nosilci podvrženi minimalnim dimenzijskim spremembam, ki jih povzroči dvig temperature motorjev in optičnih komponent med dolgotrajnim neprekinjenim delovanjem, kar učinkovito preprečuje toplotni odmik referenčne montaže za vodila in linearne lestvice. Visoko dušenje materiala absorbira tresljaje, ki nastanejo med visoko-hitrostjo povratnega premikanja diapozitivov, in preprečuje prenos tresljajev na optične leče in zameglitev slik. V fazi načrtovanja UNPARALLELED izvaja dinamično in toplotno simulacijo za optimizacijo prečnega-prereza žarka glede na obseg potovanja, drsno obremenitev in pospešek opreme za pregledovanje. Usklajuje visoko togost in lastno-težo, da zmanjša obremenitev linearnih motorjev in dinamično deformacijo, ki jo povzroči vztrajnost gibanja. Za majhno-potovalno visoko{12}}natančno optično inšpekcijo ali opremo za skeniranje rezin velikega{13}}formata je mogoče izbrati monolitne ali natančno sestavljene strukture.
3. Čista natančna obdelava in postopek ne-magnetne vgradnje za sestavljanje inšpekcijskega modula
Notranji prostor optičnih in polprevodniških čistih komor zahteva visoko čistočo. Medtem morajo žarki nositi veliko optičnih baz, linearnih lestvic in nosilcev senzorjev. Običajni kovinski vgrajeni pritrdilni elementi predstavljajo magnetna tveganja. UNPARALLELED uporablja ne-magnetne vdelane rokave za ne-magnetne granitne tramove, ki se ujemajo z ne-magnetnimi pritrdilnimi elementi in nizko-hlapljivim posebnim lepilom. Vse komponente sklopa ostanejo ne-magnetne in ne ustvarjajo lokalnih magnetnih polj. Referenčne površine nosilcev so nano{10}}prepletene v delavnici, izolirani od-stalnih{11}}temperaturnih vibracij, za strog nadzor ravnosti, vzporednosti in ravnosti. Po strojni obdelavi gredo žarki skozi-čiščenje brez prahu, da odstranimo lepljeni prah in ostanke ter preprečimo kontaminacijo z delci na rezinah in optičnih lečah. Postavitev lukenj je optimizirana s simulacijo napetosti, da se prepreči koncentracija napetosti, ki jo povzročajo gosto razporejene luknje in lokalna deformacija kamna med zategovanjem vijakov. Robovi so pasivirani, da zmanjšajo nabiranje prahu v mrtvih kotih, primerni za vgradnjo v čiste komore.
4. Prilagoditev delovnih pogojev za več optičnih in polprevodniških inšpekcijskih naprav
Ne-magnetni natančni granitni žarki so idealni za inšpekcijsko opremo, opremljeno z magnetno{1}}občutljivimi senzorji, laserskimi interferometri in visoko-ločljivostnimi slikami. Tipične aplikacije vključujejo orodja za pregledovanje površinskih napak rezin, optične profile, sisteme za lasersko konfokalno skeniranje, pregled videza steklene podlage in natančno meroslovje fotomaske. Glavna zahteva takšne opreme ni težko rezanje, temveč stabilno visoko-natančno skeniranje in slikanje. Ne-magnetna lastnost žarkov ščiti optične poti in senzorje; visoka dimenzijska stabilnost zagotavlja, da se podatki meritev med dolgo-časovnim skeniranjem ne premikajo; visoko dušenje duši vibracije in tako zagotavlja jasno sliko. V primerjavi z nosilci iz aluminijeve zlitine in litega železa ne{10}}nemagnetni granitni nosilci nimajo tveganja magnetizacije. Njihova natančnost pri dolgotrajnem-delovanju počasi upada in skrajša čas izpadov za kalibracijo. UNPARALLELED podpira razvoj po meri v skladu z velikostjo komore stranke, postavitvijo optične poti in vmesniki za namestitev, rezerviranjem usmerjevalnih rež, luknjami za izogibanje in referenco za namestitev za optične komponente.
5. Celoten-tovarniški pregled za zagotavljanje kakovosti dostave
Poleg običajnih preskusov geometrijske natančnosti in obremenitve togosti se končni izdelki pregledajo glede magnetizma, da se potrdi, da celoten nosilec, vključno z vdelanimi deli, ni-magneten. Inšpekcija geometrijske natančnosti uporablja sledljivo meroslovno opremo CNAS. Na voljo so popolni dokumenti, vključno z zapisi o čistoči, poročili o preskusih materiala in podatki o deformacijah ob obremenitvi. Za preprečevanje kontaminacije med transportom je uporabljena embalaža brez prahu. Pri modelih z dolgim-potovanjem se za sestavljene tramove uporablja lepilo z nizko-hlapnostjo, spoji pa so nameščeni v območjih z nizko-napetostjo, ne da bi motili optično jedro in merilno referenco.
Zaključek
V optični in polprevodniški opremi za natančno pregledovanje blodeča magnetna polja neposredno motijo optično slikanje in merjenje šibkega signala, čemur se s tradicionalnimi kovinskimi žarki težko izognemo. NE-Ne{1}}magnetni natančni granitni tramovi NEPRIMALNE privzemajo naravno ne-magnetne kamnite podlage v kombinaciji z ne-magnetno vdelavo, ultra-natančnim lepljenjem in čisto tehnologijo obdelave. Dosežejo ne-magnetno okolje, nizko toplotno deformacijo, visoko togost z dušenjem tresljajev in hkrati dolgoročno -dimenzijsko stabilnost. Popolnoma primerni za pregled rezin in opremo za optično meroslovje, ti žarki zagotavljajo čist in stabilen nosilec gibanja za optične sisteme in magnetno{9}}občutljive merilne enote.