Za izpolnjevanje visokih-standardnih-zahtev brez prahu za natančno proizvodnjo polprevodnikov, optično pregledovanje in avtomatizirano opremo ter za nadaljnje izboljšanje stabilnosti natančnosti in življenjske dobe natančnih granitnih podstavkov je naše podjetje optimiziralo in implementiralo standardizirane specifikacije za čiščenje-brez prahu za granitne podstavke, ki se uporabljajo v proizvodnih linijah polprevodnikov. Standardizirano in sistematično delovanje, ki temelji na dolgoletnih izkušnjah natančne obdelave kamna in dejanskih scenarijih uporabe v polprevodniških delavnicah, zagotavlja dolgoročno-primerjalno natančnost vrhunske-opreme.
Polprevodniška oprema zahteva izjemno visoko okoljsko čistočo in natančnost ravnosti. Kot glavna merila uspešnosti so granitne podlage zelo občutljive na droben prah, vlakna, oljne madeže in ostanke vlage na površini. Celo manjši onesnaževalci lahko povzročijo napake pri zaznavanju, zamik pozicioniranja in nepravilnosti pri ostrenju leče, kar neposredno vpliva na izkoristek polprevodniškega izdelka. Zaradi naravne mikroporozne strukture granita se drobni delci zlahka adsorbirajo na površino. Običajne metode čiščenja ne morejo izpolnjevati standardov delavnic brez prahu, zato je bistven profesionalen, strog in sistematičen sistem upravljanja čiščenja-brez prahu.
V skladu s standardi za delavnice brez prahu razreda 1000 in razreda 10000 je naše podjetje vzpostavilo popoln sistem čiščenja brez prahu, ki zajema sedem glavnih razsežnosti: čistilno okolje, profesionalna orodja, postopki delovanja, upravljanje cikla, specifikacije osebja, prepovedi delovanja in sledljivost podatkov.
Kar zadeva upravljanje z okoljem in orodjem, se vsi postopki čiščenja izvajajo v prostoru brez prahu- s konstantno-temperaturo in konstantno-vlažnostjo, da se prepreči rahla deformacija zaradi vpijanja vlage. Uporabljamo namenske komplete za čiščenje brez-prašu, vključno s krpami iz mikrovlaken-brez prahu, etanol-visoke čistosti in dušikovimi pištolami za prah. Navadne krpe, papirnate brisače, voda iz pipe, kisli in alkalni detergenti so strogo prepovedani, da preprečite sekundarno onesnaženje in poškodbe površine.
Kar zadeva postopke delovanja, izvajamo tri{0}}stopenjski standardiziran čistilni mehanizem: dnevno rutinsko čiščenje, tedensko globinsko čiščenje in mesečno strokovno vzdrževanje. Dnevno plavajoče odstranjevanje prahu in-enosmerno brisanje zagotavljata vsakodnevno operativno čistočo. Tedensko globinsko čiščenje temeljito odstrani adsorbirane delce z robov, rež in pritrdilnih lukenj. Mesečno popolno vzdrževanje vključuje čiščenje opreme ob zaustavitvi, ponovni-pregled natančnosti, beleženje podatkov in pregled odpornosti proti prahu za ohranjanje stabilne natančnosti pri dolgotrajni-uporabi.
Medtem za vse operaterje veljajo strogi standardi delovanja-brez prahu. Vse osebje mora biti deležno strokovnega-usposabljanja brez prahu in nositi popolne uniforme in rokavice-brez prahu. Prepovedan je neposreden-dotik z golimi rokami z referenčnimi površinami, da bi se izognili mikro-onesnaženju, ki ga povzroča pretok zraka pri dihanju, dlake in ostanki vlaken, kar zagotavlja, da je vsak postopek čiščenja standardiziran in nadzorovan.
Da zagotovimo dolgoročno-kakovost izdelkov, smo vzpostavili popolno evidenco čiščenja in upravljanje sledljivosti. Čas čiščenja, operaterji, okoljski parametri in podatki o ponovnem -inšpekcijskem pregledu so v celoti arhivirani, da tvorijo standardiziran-sistem upravljanja z zaprto zanko. To učinkovito preprečuje poslabšanje natančnosti, površinske neenakosti in zamik zaznavanja, ki ga povzročajo nepravilna čiščenja.
Trenutno je ta niz specifikacij za čiščenje-brez prahu v celoti uporabljen za tovarniške preglede, čiščenje za odpravljanje napak in usmerjanje kupcev naših polprevodni-granitnih podstavkov. V prihodnosti bomo še naprej poglabljali natančno obdelavo granita in standardizirane sisteme vzdrževanja, nenehno optimizirali celoten proces proizvodnje, poliranja, pregledovanja in čiščenja ter strankam v industriji polprevodnikov, optike in vrhunske-natančne opreme zagotavljali visoko-natančnost, visoko-stabilnost in visoko-vzdržljivost izdelkov iz granita in profesionalne tehnične storitve.